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      UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

      簡要描述:UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

      • 產(chǎn)品型號:
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時間:2025-02-12
      • 訪  問  量:1314
      詳細(xì)介紹
      品牌其他品牌磨盤個數(shù)1個
      價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
      應(yīng)用領(lǐng)域鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合

      產(chǎn)品簡介:UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

      產(chǎn)品名稱

      UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

      安裝條件

      本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

      1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水

      2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

      3、氣:無

      4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

      5、通風(fēng)裝置:不需要

      主要特點

      1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

      2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。

      3、設(shè)有兩個加工工位,可分別進行控制。

      4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。

      5、配置自動滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動研磨和拋光。

      6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

      7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。

      技術(shù)參數(shù)

      主機部分

      GPC-100A精密磨拋控制儀

      自動滴料器

      1、電源:220V

      2、功率:450W

      3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

      4、磨拋工位:2個

      5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔;

       (改前調(diào)速檔位為1-3)

      6、托盤端跳:0.008/250mm

      7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

      8、載樣盤:φ105mm

      9、修盤環(huán):φ0127.5mm

      1、載樣盤直徑:?103mm

      2、載樣盤軸向行程:12mm

      3、數(shù)顯表精度:0.001mm

      4、載樣盤可調(diào)加載壓力:

                 0.1kg-2.1kg

      5、壓力確認(rèn)儀有效量程:1g-5000g

      6、樣品裝卡方式:真空吸附

      7、承載樣件尺寸:

       直徑≤103mm、 厚度≤12mm

      8、尺寸:外徑146mm,高266mm

      SKZD-2滾筒滴料器

      1、容積:1.5L

      2、流量:0-35ml/min

      3、尺寸:170×290×350mm;

       重量:3kg

      SKZD-4自動滴料器

      1、加液泵:4個

      2、料液瓶:600ml/瓶

      3、計時范圍:1-999min

      4、流量:0.1ml/min-10ml/min

      5、尺寸:230×370×450mm;

       重量:10kg

      產(chǎn)品規(guī)格

      1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

      2、重量:90Kg

      標(biāo)準(zhǔn)配件

      1

      鑄鐵研磨盤1個研磨盤

      2

      不銹鋼拋光盤

      1個

      3

      載物盤

      1個

      4

      修盤環(huán)

      1個

      5

      SKZD-2滴料器

      1個

      滴料器

      6

      SKZD-4自動滴料器

      1個

      滴料器

      7

      GPC-100A精密磨拋控制儀

      1個

      8

      拋光墊

      (磨砂革、合成革、聚氨酯)

      各1片

      9

      剛玉研磨微粉

      0.5kg

      10

      石蠟棒

      4根

      可選配件

      1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵

      2、精密測厚儀

      3、陶瓷研磨盤

      4、玻璃研磨盤

      5、磁性樹脂金剛石研磨片

      <strong><strong><strong>UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機</strong></strong></strong>




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